上海至嘉半导体气体有限公司成立于2021年5月18日，为上市公司至纯科技集团下属的独立法人子公司，位于上海市嘉定工业区。本公司是为大规模集成电路生产线项目供应配套大宗气站项目，主要生产氮、氧、氩、氢、氦、二氧化碳、压缩空气等超高纯电子级工业气体。